установка проведения диффузии и оксидирования по методу закрытой трубы

uždaravamzdis oksidavimo ir difuzijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. closed-tube oxidation-diffusion installation vok. Anlage zur Durchführung von Diffusion-Oxydation im geschlossenen Rohr, f rus. установка проведения диффузии и оксидирования по методу закрытой трубы, f pranc. installation d'oxydation-diffusion par tube fermé, f